潔凈烘箱耐高溫過濾器特點(diǎn)

        潔凈烘箱耐高溫過濾器又稱無塵烘箱系列。用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的上膠前、上膠后、硬膜烘烤后及顯影后的預(yù)處理和烘烤；高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示器、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)科研部門；也可用于不揮發(fā)、不易燃易爆材料的干燥、熱處理、老化等高溫試驗(yàn)。
        烤箱專用高溫高效過濾器具有以下特點(diǎn)：
         A、有隔板和耐高溫高效過濾器。外框可選：250℃以下可選擇鋁框、鋁折疊框、鍍鋅框、不銹鋼框； 250℃以上，必須使用鍍鋅框架或不銹鋼框架。不同框架材料的高效過濾器的價(jià)格和成本也不同。
         B、鋁型材可選厚度：120mm、150mm、220mm。
         C、隔板高溫高效過濾器的濾材為H13-H14玻璃纖維濾紙。
         D、密封膠：紅色硅膠（250-280℃）和陶瓷膠（350-400℃）。
         E、隔板為0.03mm厚鋁箔。
        潔凈烘箱耐高溫過濾網(wǎng)的特點(diǎn)：
         1、可在正常環(huán)境下使用，保證烤箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到100級(jí)。
         2、quan方位氬氣焊接，耐高溫硅膠開裂，SUS304#不銹鋼電加熱器，防機(jī)器本身產(chǎn)生的粉塵；
         3、飛機(jī)水平從后向前抽，通過美國(guó)HEPA過濾器20"×20"裝置送風(fēng)至前門（特殊風(fēng)道設(shè)計(jì)），過濾效率99.99% ，Class 100，排氣口：3"φ（帶自動(dòng)啟閉風(fēng)門）。
         4、強(qiáng)制空氣循環(huán)方式。雙倍的。風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能PID控溫系統(tǒng)，獲得良好的控溫精度